“到如今，我們已經成功研發出可媲美國際高端光柵的第三代納米時柵，精度水平已達國際領先水平?！?月26日，在重慶理工大學機械檢測技術與裝備教育部工程研究中心，時柵團隊核心成員于治成指著展覽室里擺放著的直線時柵和圓時柵兩大系列新品向記者介紹。

制造業決定了一個國家的綜合實力和國際競爭力，高水平的精密測量技術和精密儀器制造能力，是發展高端制造業的必備條件。在精密加工、計量檢測等領域，精密位移傳感器是不可或缺的重要組成部分，被稱為“精密之眼”，它的性能直接決定了加工制造環節的精度。然而，精密位移測量器件作為核心功能部件，長期被國外巨頭們進行嚴格的戰略性封鎖，進口傳感器存在價格高、貨期長、售后難的問題，我國精密位移測量領域亟待擺脫受制于人的局面。

“關鍵核心技術是要不來、買不來、討不來的，必須依靠自主創新?！敝貞c理工大學時柵團隊從1996年提出“時柵傳感器”理念起，歷經了第一代機械式時柵、第二代磁場式時柵再到第三代電場式時柵（即“納米時柵”）自主研發道路。

在此歷程中，研發團隊日復一日地進行了成千上萬次的實驗，持續攻克了“提高測量精度與增加測量范圍的矛盾”“精度提高導致的誤差溯源困難”“突破光學衍射極限改善分辨力”等技術難題，逐步實現了從毫米到微米再到納米精度的跨越。

如何讓納米時柵技術走出實驗室，實現產業化？2021年4月，時柵團隊推動成果轉化，與中國通用技術集團合作成立國測時柵科技有限公司，標志著納米時柵成果正式開啟轉化應用、服務市場用戶的新階段。

據介紹，目前，納米時柵技術已推出直線時柵和圓時柵兩大系列新品，廣泛應用于高檔數控機床、集成電路裝備、精密檢測儀器等領域，以“中國精度”逐步填補國內高端精密位移測量領域空白。其中，直線時柵產品最高精度可達±2。5微米（1微米等于0。001毫米），圓時柵產品最高測量精度可達±1角秒（1角秒等于1／3600度）。與國外同性能產品相比，國測時柵產品更具明顯價格優勢，平均可為客戶節約20％—30％的使用成本。

為推動科技成果高效轉化，近年來，重慶理工大學構建“專利創新鏈、制度保障鏈、轉化服務鏈”深度融合的“三鏈聚合”模式，實現了我國精密位移測量器件既“測得準”又“造得出”，學校專利轉化合同金額連續多年位列全國高校50強。

新重慶－重慶日報記者 李志峰 實習生 王文文